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        6. 開關(guān)MOS寄生二極管的多種妙用介紹
          • 發(fā)布時間:2020-06-29 18:18:23
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          開關(guān)MOS寄生二極管的多種妙用介紹
          寄生二極管由來
          是由生產(chǎn)工藝造成的,大功率MOS管漏極從硅片底部引出,就會有這個寄生二極管。小功率MOS管例如集成芯片中的MOS管是平面結(jié)構(gòu),漏極引出方向是從硅片的上面也就是與源極等同一方向,沒有這個二極管。模擬電路書里講得就是小功率MOS管的結(jié)構(gòu),所以沒有這個二極管。但D極和襯底之間都存在寄生二極管,如果是單個晶體管,襯底當然接S極,因此自然在DS之間有二極管。如果在IC里面,N—MOS襯底接最低的電壓,P—MOS襯底接最高電壓,不一定和S極相連,所以DS之間不一定有寄生二極管。
          寄生二極管作用:
          當電路中產(chǎn)生很大的瞬間反向電流時,可以通過這個二極管導出來,不至于擊穿這個MOS管。(起到保護MOS管的作用)
          溝槽Trench型N溝道增強型功率MOSFET的結(jié)構(gòu)如下圖所示,在N-epi外延層上擴散形成P基區(qū),然后通過刻蝕技術(shù)形成深度超過P基區(qū)的溝槽,在溝槽壁上熱氧化生成柵氧化層,再用多晶硅填充溝槽,利用自對準工藝形成N+源區(qū),背面的N+substrate為漏區(qū),在柵極加上一定正電壓后,溝槽壁側(cè)的P基區(qū)反型,形成垂直溝道。
          由下圖中的結(jié)構(gòu)可以看到,P基區(qū)和N-epi形成了一個PN結(jié),即MOSFET的寄生體二極管。
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